首頁(yè)>應(yīng)用案例>低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
LPCVD低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是華鳶針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備和工藝要求所研發(fā)的新型系統(tǒng)，采用華鳶專(zhuān)用控制器作為通訊處理核心，采用先進(jìn)的網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、控制技術(shù)，瞄準(zhǔn)世界行業(yè)發(fā)展的先進(jìn)水平。
系統(tǒng)經(jīng)過(guò)試驗(yàn)升級(jí)后，在性能與可靠性上處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，達(dá)到了行業(yè)控制系統(tǒng)的最高水平，該系統(tǒng)目前已經(jīng)在樂(lè)山正常運(yùn)行，所生產(chǎn)產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)均優(yōu)，與國(guó)內(nèi)其他產(chǎn)品相比，在各個(gè)方面都體現(xiàn)了系統(tǒng)的先進(jìn)性、穩(wěn)定性和可靠性：
1. 采用華鳶控制器做通訊，極大地提高了系統(tǒng)的運(yùn)行速度與可靠性。
2. 與各儀表之間采用通訊方式進(jìn)行數(shù)據(jù)交互，既提高了速度，又增加了精確度，抗干擾能力強(qiáng)。
3. 用PLC做IO與互鎖，發(fā)揮了PLC的優(yōu)點(diǎn)，可靠性更強(qiáng)。
4. 上位機(jī)操作，無(wú)論是配方編輯還是監(jiān)控，都十分簡(jiǎn)單、直觀、方便，可進(jìn)行靈活配置，工人簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上崗。
5. 觸摸屏包含信息更完整，便于故障排除。
6. 上位機(jī)與觸摸屏為基本冗余配置，生產(chǎn)控制操作可在任一設(shè)備進(jìn)行。兩者中任一設(shè)備故障，都不影響當(dāng)前生產(chǎn)。
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